触針式表面形状測定装置 （膜厚･段差･表面荒さ測定） VEECO DekTak-3 Windowsパソコン制御：自作データ変換ソフトウェア 上下方向分解能 5 A 再現性 10 A データ点/スキャン 2000 　 接触型の表面荒さ計です．名目上の測定精度は高いですが、実際は古い装置なので、膜厚測定に使っています．